北京微纳光科真空设备有限公司
主营：真空无磁位移台、真空光学平台，真空低温仪器，真空设备配件
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| 产品型号 | WN261TA15H-V | |
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结 构 描 述 |
行程 | 15 mm |
| 台面尺寸 | 65×65mm | |
| 螺杆规格 | 研磨丝杆（导程0.5 mm） | |
| 导轨 | 精密交叉滚柱导轨 | |
| 驱动马达 | 进口真空步进电机 | |
| 主体材料 | 不锈钢 | |
| 台面承载 | 10kg | |
| 重量 | 1.2kg | |
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精 度 描 述 |
分辨率 | 2.5μ（无细分） 0.125μ（20细分） |
| 最大速度 | 5mm/sec | |
| 重复定位精度 | 3μ | |
| 绝对定位精度 | 10μ | |
| 直线度 | 5µ | |
| 运动平行度 | 10µ | |
| 俯仰 | 25″ | |
| 偏摆 | 20″ | |
| 回程间隙 | 2µ | |
| 丢步 | 2µ | |
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